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缺陷分析－超聲波掃描顯微鏡（ＳＡＭ）

            聲學(xué)顯微鏡，學(xué)名是：掃描聲學(xué)顯微鏡Scanning Acoustic Microscope，簡(jiǎn)稱SAM。它是基于聲波脈沖反射和透射原理工作的，只要聲波信號(hào)在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗（如遇到孔隙、氣泡等），就會(huì)發(fā)生反射。    

SAM主要用于材料淺表層結(jié)構(gòu)分析、材料力學(xué)性能的檢測(cè)、無損檢測(cè)等。

A、 雜質(zhì)顆粒、夾雜物、沉淀物等

B、 裂紋

C、 分層缺陷、附著物以及其他夾雜物

D、 空洞、氣泡、空隙等

 

SAM與X-RAY的主要區(qū)別

 

SAM

X-RAY

成像模式

反射模式和穿透模式

穿透模式

原理

聲波脈沖反射和透射

基于材料密度的差異

材料的穿透性

密集和疏松的固體都能

金屬材料穿透較差

 

對(duì)空氣的敏感性

空氣能阻斷超聲波傳輸，確定焊接層、粘接層、填充層、涂鍍層、結(jié)合層的完整是SAM獨(dú)特的性能

對(duì)空氣不是非常敏感，裂紋虛焊等不能被觀測(cè)到

 

材料的無損性

使用于MHz超聲波，不會(huì)產(chǎn)生氣穴，完全無損

較長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)，可能會(huì)產(chǎn)生損壞和隨機(jī)的電子錯(cuò)誤

所得圖像

可以分層展現(xiàn)材料內(nèi)部一層一層的圖像

整個(gè)樣品厚度的一個(gè)合成圖像

儀器簡(jiǎn)介：德國(guó)KSI-SAM 

一、1990年，世界上第一個(gè)做出頻率超過GHz的超1990年，世界上第一個(gè)做出頻率超過GHz的超聲波掃描顯微鏡，到目前為

止，其他同類儀器公司只能做到200MHz 左右；

二，1991年，世界上第一個(gè)在超聲波顯微鏡中做出GHz V（z）, V（f）定量測(cè)量系統(tǒng)；

三，1996年，推出世界上第一臺(tái)數(shù)字超聲波顯微鏡；

四，1998年，世界上第一個(gè)做出帶有球面透鏡的超聲波換能器；

五，2002年，世界上第一個(gè)在超聲波顯微鏡上實(shí)現(xiàn)材料阻抗測(cè)量；

六，2004年，世界上第一個(gè)在超聲波顯微鏡掃描控制平臺(tái)中采用空氣墊懸浮線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的超高精度X-Y掃描系統(tǒng)；

七，2004年，世界上第一個(gè)實(shí)現(xiàn)超聲波顯微鏡自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，并受到專利保護(hù)；

八，2004年，世界上第一個(gè)實(shí)現(xiàn)多探頭同時(shí)掃描大件樣品的超聲波顯微鏡系統(tǒng)，并受到專利保護(hù)。

該公司產(chǎn)品分類： 表面微區(qū)分析 應(yīng)力分析 缺陷分析 形貌分析 結(jié)構(gòu)分析 成分分析 元素分析

VEGA 3 Easyprobe掃描電鏡能譜一體機(jī)，一體機(jī)掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

 掃描電鏡能譜一體機(jī)，一體機(jī)掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡
    廣州高測(cè)儀器有限公司專業(yè)代理泰思肯（美國(guó)）品牌的掃描電子顯微鏡（簡(jiǎn)稱電鏡），我們做的產(chǎn)品類別有：場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，鎢燈絲掃描電鏡，大樣品室掃描電鏡，超級(jí)聚焦離子束掃描電鏡，場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡，鎢燈絲掃描電子顯微鏡，離子束電子顯微鏡，透射顯微鏡，透射電鏡，透射掃描電鏡，礦物分析掃描電鏡，掃描電鏡（SEM）,有拉曼式生物顯微鏡，我們還有各種齊全的電鏡耗材，歡迎大家前來咨詢！
 
    泰思肯（美國(guó)）品牌是目前最先進(jìn)的電鏡廠家，我們都是原裝進(jìn)口的產(chǎn)品，能很好幫助用戶解決所需問題，不但口碑好，還是質(zhì)量好，高效節(jié)能，操作方便。
 

 掃描電鏡能譜一體機(jī)，一體機(jī)掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡掃描電鏡能譜一體機(jī)儀器簡(jiǎn)介：

    VEGA 3 EasyProbe可分為高真空型和可變真空型，其運(yùn)用的領(lǐng)域非常廣泛，適合各類高等院；蚬具x擇。EasyProbe是SEM/EDS一體化機(jī)型，實(shí)現(xiàn)了One-Touch式的操作，使得操作非常簡(jiǎn)單，甚至沒有經(jīng)驗(yàn)的人員也可以在一天內(nèi)學(xué)會(huì)操作。此外，EasyProbe可以說是性價(jià)比最高的一款SEM/EDS一體機(jī)，軟件配置完整，硬件延續(xù)原有的VEGA并得到進(jìn)一步發(fā)展，是值得信賴的一款SEM/EDS一體機(jī)。

 

 掃描電鏡能譜一體機(jī)，一體機(jī)掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡掃描電鏡能譜一體機(jī)主要特點(diǎn)：    VEGA 3 Easyprobe是一款掃描電鏡和能譜一體化操作的設(shè)備，設(shè)備可以觸摸屏進(jìn)行控制和操作，具有所有圖像操作和處理功能以及一鍵式EDX分析工具欄。 當(dāng)一鍵式EDX工具被激活時(shí)，系統(tǒng)顯示實(shí)時(shí)SEM圖片上選定區(qū)域的定量分析結(jié)果。

    系統(tǒng)根據(jù)用戶的技能水平可分為3個(gè)等級(jí)對(duì)電鏡進(jìn)行控制。電鏡的所有功能都由觸摸屏或鍵盤，鼠標(biāo)和軌跡球或者選配的控制臺(tái)通過Window™平臺(tái)上的VegaTC軟件控制。

相關(guān)儀器：

美國(guó)賽默飛世爾（Thermo Fisher）-尼通：手持式X射線光譜儀

德國(guó)斯派克（Spectro）：直讀光譜儀、便攜式直讀光譜儀

捷克泰思肯：掃描電鏡，熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，鎢燈比電子顯微鏡，超大樣品室掃描電鏡，等離子束掃描電鏡

日本島津（Shimadzu）：EDX Rohs專用熒光光譜儀、X射線熒光光譜儀、X射線衍射儀（XRD）、工業(yè)CT、X射線探傷儀

美國(guó)PE珀金埃爾默公司（Perkin Elmer）：等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、原子吸收光譜儀、帶捕集阱頂空進(jìn)樣器、熱脫附

美國(guó)利曼公司（Leeman Labs）：自動(dòng)測(cè)汞儀、自動(dòng)液體測(cè)汞儀、自動(dòng)固體測(cè)汞儀

日本日立（Hitachi）：X射線熒光測(cè)厚儀

 

意大利GNR：全反射X射線熒光光譜儀、殘余應(yīng)力檢測(cè)儀、殘余奧氏體檢測(cè)儀

該公司產(chǎn)品分類： 紅外光譜儀 X射線衍射儀 全自動(dòng)測(cè)汞儀 掃描電鏡耗材 掃描電鏡 直讀光譜儀 手持式光譜儀

KYKY-EM6900電子掃描顯微鏡KYKY-EM6900

KYKY-EM6900掃描電鏡主要參數(shù)

1.電子光學(xué)系統(tǒng)

（1）電子槍：發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢絲陰極；

（2）分辨率：二次電子像分辨率優(yōu)于 3.0nm（30KV）；

（3）放大倍率：8×～300,000×；

（4）加速電壓：0 V～30kV，連續(xù)可調(diào)；

（5）自動(dòng)功能包括：自動(dòng)電子槍加熱、自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)加束流、自動(dòng)加偏壓、自動(dòng)聚焦&消像散、自動(dòng)象散記憶、自動(dòng)對(duì)比度、自動(dòng)亮度，實(shí)現(xiàn)一鍵看像功能，自動(dòng)故障檢測(cè)、自動(dòng)校正等；

2.樣品室和樣品臺(tái)

（1）樣品臺(tái)：五軸高精密樣品臺(tái)。

X移動(dòng)方向不低于80mm，Y軸移動(dòng)方向不低于60mm，Z軸移動(dòng)方向不低于50mm，傾斜范圍為-5°～ +90° ，旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?nbsp;360°；

（2）可放置最大樣品尺寸：直徑110mm；

3.真空系統(tǒng)

渦輪分子泵和機(jī)械泵，可保持設(shè)備長(zhǎng)期的高分辨；  

KYKY-EM6900 SEM major parameters

1.electron-optical system

（1）electron gun ：Hair fork structure tungsten cathode；

（2）Resolution： Secondary electron as resolution better than 3.0nm（30KV）；

（3）Magnification：8×～300,000×；

（4）Acceleration voltage：0 V～30kV，continuously adjustable；

（5）automatic function include ：Automatic heat gun、automatic centering、automatic beam 、automatic bias、automatic focus &stigmatic、Astigmatic memory automatically、Auto Contrast 、Auto Brightness ，achieve a key to look at the view ，Automatic Fault Detection、Automatic correction etc.

2.Sample room ａnd samples

（1）stage：Five-axis high precision samples stage 。

   Not less than 80 mm X direction，Not less than 60 mm Y direction，Not less than 50 mm Z direction，Tilt Margin -5°～ +90° ，direction of rotation 360°；

（2）Can place the largest sample size：diameter 110mm；

3.Vacuum system

   Turbo molecular pump ａnd mechanical pump，Can keep the equipment of high resolution for a long time；

該公司產(chǎn)品分類： Itaca三坐標(biāo) 三維激光掃描儀 掃描電子顯微鏡 RAM 系列 OGP系列 CCP系列 View 系列

廠家直供專業(yè)掃描顯微鏡，西藏自治區(qū)掃描顯微鏡貨源

   科視達(dá)自成立起一直專注C-SAMx3c198an、德國(guó)PVA顯微鏡等產(chǎn)品生產(chǎn)，公司擁有多條超聲波掃描顯微鏡、超聲掃描檢測(cè)生產(chǎn)線，目前已成為超聲掃描顯微鏡行業(yè)整套解決方案服務(wù)商。   
超聲掃描顯微鏡產(chǎn)品基本資料如下： 產(chǎn)品名稱：掃描顯微鏡； 品牌商標(biāo)：科視達(dá)； 價(jià)格：1； 售后服務(wù)：優(yōu)質(zhì)；德國(guó)PVA顯微鏡產(chǎn)品詳細(xì)說明：超聲波掃描顯微鏡的工作原理、基本工作流程及主要用途超聲波掃描顯微鏡工作原理：超聲波是一種機(jī)械波，其傳播方式是通過介質(zhì)中的分子振動(dòng)來傳遞的，因此超聲波對(duì)于分子被測(cè)材料有密切的關(guān)系，材料的密度越大，超聲波傳播的速度越高，反之，材料的密度越小，聲波的傳播速度越低。因此超聲波檢測(cè)用被廣泛用于電子元器件和材料的質(zhì)量控制與檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)非破壞性的無損檢測(cè)。儀器使用時(shí)將帶有聚焦功能的高頻超聲波換能器安裝在掃描控制系統(tǒng)上，在軟件界面，選用不同掃描模式，通過逐點(diǎn)掃描的方式，檢測(cè)材料內(nèi)部，經(jīng)過超聲發(fā)射，（DPR 信號(hào)發(fā)生器接收及ADC卡電子信號(hào)采集與處理，從而在工控機(jī)屏幕上形成一個(gè)試件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的顯微圖像。 再通過控制系統(tǒng)，放大顯微成像后傳輸?shù)斤@視器，從而觀察材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的情況，挑選出內(nèi)部有缺陷的試件。超聲波掃描顯微鏡基本工作流程：1）將被測(cè)試件放入工作水槽內(nèi)；2）將帶有聚焦功能的高頻超聲波換能器安裝在掃描控制系統(tǒng)上，在軟件界面，選用不同 掃描模式，通過逐點(diǎn)掃描的方式，檢測(cè)材料內(nèi)部，經(jīng)過超聲發(fā)射，接收及電子信號(hào)處 理，從而形成一個(gè)試件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的顯微圖像，目前最高分辨率可大到微米級(jí)。3）通過接受內(nèi)部波形的門限選擇，像CT一樣，對(duì)被測(cè)試件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行斷層掃描；4）通過高性能的專用工控機(jī)的大屏幕顯示器顯示出每一層測(cè)試結(jié)果的顯微圖像，從而挑 選出內(nèi)部有缺陷的試件；5）針對(duì)不同被測(cè)試件，更換不同頻率和焦距的換能器進(jìn)行測(cè)試超聲波掃描顯微鏡主要功能：可檢測(cè)并分析元器件和材料內(nèi)部是否有裂紋，空洞，氣泡，夾雜物，附著物，分層缺陷等。對(duì)X-ray，電鏡不能分辨的裂紋及封裝技術(shù)研發(fā)過程中粘接層、填充層、涂鍍層、結(jié)合層通過無損掃描進(jìn)行分析。
   科視達(dá)在全國(guó)建有強(qiáng)大的德國(guó)PVA顯微鏡、售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，多名技術(shù)顧問及售后工程師遍及全國(guó)各地區(qū)，能為用戶提供優(yōu)質(zhì)、高效的服務(wù)保證？埔曔_(dá)德國(guó)PVA顯微鏡經(jīng)多年市場(chǎng)驗(yàn)證，提供從報(bào)價(jià)到售后服務(wù)全程跟蹤的一條龍服務(wù)，求購(gòu)服務(wù)周到的德國(guó)PVA顯微鏡、，選擇科視達(dá)，歡迎訪問：www.questar.com.cn。
該公司產(chǎn)品分類： 掃描顯微鏡

V400德國(guó)KSI 超聲波掃描顯微鏡

 德國(guó)KSI（中國(guó)）服務(wù)中心
德國(guó)KSI  硅片鍵合缺陷檢測(cè)系統(tǒng) / IGBT模組缺陷檢測(cè)系統(tǒng) 咨詢電話：021-3467 3715

德國(guó)KSI公司的中國(guó)服務(wù)中心 超聲波掃描顯微鏡，英文是：Scanning Acoustic Microscope，簡(jiǎn)稱SAM，由于它的主要工作模式是C模式，因此也簡(jiǎn)稱：C-SAM，F(xiàn)在做失效分析的第三方實(shí)驗(yàn)室里，這個(gè)設(shè)備直接被通稱為C-SAM，就像X射線透射機(jī)被通稱為X-Ray一樣。

上個(gè)世紀(jì)的90年代中，微電子器件的大規(guī)模生產(chǎn)制程中，發(fā)現(xiàn)IC的Die上下表面脫層，錫球/芯片裂縫、或填膠中的裂縫、封裝材料（很多塑封材料） 內(nèi)部的氣孔等缺陷，無法用常規(guī)的X-ray失效分析手段檢測(cè)到，此時(shí)，一種新型的測(cè)試技術(shù)被引入到芯片的后封裝測(cè)試領(lǐng)域，它就是超聲波掃描顯微鏡。說是顯 微鏡，其實(shí)它與常規(guī)的光學(xué)顯微鏡兩者沒有任何關(guān)系，只是因?yàn)檫@個(gè)設(shè)備最早是由國(guó)外廠家先行研發(fā)并投入到生產(chǎn)領(lǐng)域，這個(gè)名字也是直接從外文直譯過來，因此中 文嚴(yán)格可以稱為：中高頻超聲波無損檢測(cè)系統(tǒng)，或許更為合適。

工作原理 換能器負(fù)責(zé)將電磁脈沖轉(zhuǎn)換成聲脈沖，離開換能器后，聲波被聲透鏡通過耦合介質(zhì)（一般是去離子水或無水酒精等）聚焦在樣品上。耦合介質(zhì)是為了防止超聲 波信號(hào)快速衰減，因?yàn)槌暡ㄐ盘?hào)在一些稀疏介質(zhì)中傳播是，會(huì)快速衰減。樣品置于耦合介質(zhì)中，只要聲波信號(hào)在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗介面（如遇到孔 隙、氣泡、裂紋等），就會(huì)發(fā)生反射。

另一種工作模式叫透射模式。透射掃描時(shí)，樣品下方要安裝另外一只換能器，這只換能器會(huì)接收所有完全穿透樣品的超聲波信號(hào)。根據(jù)接收的信號(hào)就能還原出各種超聲波C掃圖像。

在失效分析中的應(yīng)用
  • 晶圓面處分層缺陷
  • 錫球、晶圓、或填膠中的開裂
  • 晶圓的傾斜
  • 各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）
在失效分析中的優(yōu)勢(shì)
  • 非破壞性、無損檢測(cè)材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)
  • 可分層掃描、多層掃描
  • 實(shí)施、直觀的圖像及分析
  • 缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì)
  • 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像
  • 對(duì)人體是沒有傷害的
  • 可檢測(cè)各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）
應(yīng)用領(lǐng)域
  • 半導(dǎo)體電子行業(yè)：半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
  • 材料行業(yè)：復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；
  • 生物醫(yī)學(xué)：活體細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼、血管的研究等.
該公司產(chǎn)品分類： 超聲波掃描顯微鏡

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