TPJL-1000探針式植物莖流測(cè)量?jī)x 儀器型號(hào)：TPJL-1000
PRCBE 深圳市展芯科技LAB系列探針臺(tái)
產(chǎn)品應(yīng)用：
DC、RF、mmW測(cè)試
納米級(jí)電子器件測(cè)試，微機(jī)電測(cè)試LAB DS.pdf
高功率測(cè)試
產(chǎn)品特點(diǎn)：
LAB系列為真正意義上的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)探針臺(tái)，讓用戶可完全圍繞實(shí)際應(yīng)用，選擇最適合的功能配置，確保最佳成本解決方案的同時(shí)滿足用戶將來的升級(jí)需求。
LAB系列可定制的模塊為：載物臺(tái)及其移動(dòng)基座模塊、探針座放置平臺(tái)移動(dòng)模塊和顯微鏡及其移動(dòng)基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時(shí)，還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動(dòng)控制系統(tǒng)、全自動(dòng)控制系統(tǒng)、高溫測(cè)試系等，滿足更多的應(yīng)用需求。
LAB系列還為用戶提供了一個(gè)高剛性和穩(wěn)定性的測(cè)試系統(tǒng)。載物臺(tái)移動(dòng)基座和探針臺(tái)底座一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，顯著地提高了載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng)，保證光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺(tái)采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證平臺(tái)板整體的垂直應(yīng)力形變?cè)?span>5μm/10N以內(nèi)，擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。
| 技術(shù)指標(biāo) |
| 載物臺(tái)(常規(guī)晶圓載物臺(tái)） |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
| 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 平整度 | ≤±2.5μm |
| 真空區(qū)域* | 0，2"，4"，6"環(huán)形吸附** |
| 真空控制 | 手動(dòng)控制，獨(dú)立真空區(qū)域 |
| 真空驅(qū)動(dòng)方式 | 真空泵 |
| 載物臺(tái)電性能 | 載物臺(tái)信號(hào)導(dǎo)通，可選擇接地或接信號(hào) |
| *根據(jù)載物臺(tái)尺寸有所不同，如載物臺(tái)尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域?yàn)?/span>0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺(tái)，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 | |
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| 載物臺(tái)移動(dòng)基座 |
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| X-Y軸行程范圍* | 6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 |
| 精度 | 1μm |
| R軸粗調(diào)角度范圍 | 360° |
| R軸細(xì)調(diào)角度范圍 | ±9° |
| 微調(diào)精度 | 0.0001°/deg |
| Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 13mm |
| 細(xì)調(diào)精度 | 1μm |
| Z軸快升行程 | 0~6mm, 可調(diào) |
| Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
| 載物臺(tái)快速拖出行程 | 100mm |
| *根據(jù)載物臺(tái)尺寸不同，行程有所不同，如載物臺(tái)為12"，則X-Y移動(dòng)行程為12"*12"。 | |
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| 探針座放置平臺(tái) |
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| 材質(zhì) | 鋼，表面沉鎳處理 |
| 平臺(tái)板尺寸* | 可放置8個(gè)CM50或4個(gè)RF50探針座 |
| 平臺(tái)板至載物臺(tái)高度 | 1.496”(38mm) |
| 探針座兼容性 | 可兼容磁力或真空吸附底座的探針座 |
| Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 45mm |
| Z軸快升行程 | 350μm |
| Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
| *此處為6"探針臺(tái)可放置的探針座數(shù)量 ，更大尺寸探針臺(tái)詳詢客服人員。 | |
| 顯微鏡移動(dòng)基座 |
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| X-Y軸行程范圍 | 2"*2"(50mm* 50mm) |
| X-Y軸精度 | 1μm |
| 調(diào)焦行程 | 2"(50mm) |
| 精度 | 1μm |
| Z軸粗調(diào)行程 | 100mm |
| 氣動(dòng)升降行程 | 40mm |
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| 光學(xué)系統(tǒng) |
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| 類型 | 金相顯微鏡，可選體視或單筒顯微鏡 |
| 光學(xué)放大倍數(shù)* | 20X-2000X |
| * 根據(jù)所選物鏡或顯微鏡放大倍數(shù)不同會(huì)有不同的光學(xué)放大倍數(shù)，詳細(xì)請(qǐng)咨詢客服人員。 | |
| 其它信息 |
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| 臺(tái)體尺寸 | 724mm*606mm*610mm（W*D*H） |
| 重量 | 120kg |
| 加熱載物臺(tái)(可選項(xiàng)） |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
| 溫度范圍 | 室溫~300℃ |
| 溫控精度* | 0.5℃（典型值） |
| 溫度均勻性 | 0.5℃@6"載物臺(tái) |
| 加熱時(shí)間 | <6min（室溫~300℃） |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置的加熱臺(tái)為自然冷卻，可選風(fēng)冷或水冷套件。 |
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| RF載物臺(tái)(可選項(xiàng)） |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
| 校準(zhǔn)片載物臺(tái) | 2個(gè)（獨(dú)立真空控制） |
| 尺寸 | 配套CS-5等尺寸的校準(zhǔn)片 |
| 校準(zhǔn)片載物臺(tái)角度調(diào)節(jié)范圍 | 7° |
| 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 平整度 | ≤±2.5μm |
| 真空驅(qū)動(dòng)方式 | 真空泵 |
| 其它擴(kuò)展配件(可選項(xiàng)） |
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| 探針卡夾具 | 可根據(jù)探針卡尺寸定制，應(yīng)用于多點(diǎn)或自動(dòng)測(cè)試 |
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| 激光器 | 1064nm，532nm，355nm，三個(gè)波段自由配置，對(duì)芯片線路進(jìn)行切割修改。 |
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| 半自動(dòng)控制系統(tǒng) | 實(shí)現(xiàn)晶圓小批量半自動(dòng)測(cè)試需求 |
| 設(shè)備環(huán)境要求 |
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| 電源 | 220V±10% |
| 真空 | -8bar |
| 壓縮空氣 | 0.6MPa |
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品牌簡(jiǎn)介-PRCBE
展芯科技是一家專業(yè)的探針臺(tái)系統(tǒng)研發(fā)和生產(chǎn)商，致力于為用戶提供中國（PRC）精準(zhǔn)（Precise）、可靠（Reliable）和高性價(jià)比（Cost-effective）的探針臺(tái)系統(tǒng)。
依托于自有的芯片失效分析實(shí)驗(yàn)室，展芯科技得以根據(jù)最前端的測(cè)試需求不斷地研發(fā)改進(jìn)探針臺(tái)系統(tǒng)，以滿足用戶日新月異的測(cè)試需求。同時(shí)，芯片失效分析實(shí)驗(yàn)室也為展芯的探針臺(tái)系統(tǒng)提供了理論聯(lián)系實(shí)際的測(cè)試平臺(tái)，芯片分析實(shí)驗(yàn)室用戶在使用探針臺(tái)系統(tǒng)的同時(shí)，也給我司產(chǎn)品提供了寶貴的改進(jìn)建議。
經(jīng)過10年的發(fā)展和積累，展芯已在探針臺(tái)系統(tǒng)的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域取得了卓越的成績(jī)，可針對(duì)用戶不同的測(cè)試需求定制解決方案，如微弱電流測(cè)試（1fA）、RF 和mmW測(cè)試（THz）、高功率測(cè)試（100A，10kV）、真空高低溫測(cè)試（-196℃~800℃）、光電測(cè)試等等。
憑借著PRC的產(chǎn)品，展芯贏得了半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)知名科研機(jī)構(gòu)和公司的信任和尊重，建立了長期的合作關(guān)系。展芯的探針臺(tái)系統(tǒng)已在國內(nèi)外的科研院所、學(xué)校和公司中獲得廣泛的使用，如中科院、廣州五所（賽寶實(shí)驗(yàn)室）、北京自動(dòng)化設(shè)備研究所、電子科技大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、香港大學(xué)、香港科技大學(xué)、香港城市大學(xué)、華為、中興、比亞迪、富士康等等。
感謝您對(duì)展芯的關(guān)注，相信我們PRC的產(chǎn)品定能讓您在集成電路 (IC)、電路板、光學(xué)器件、MEMS、3D TSV、LCD等先進(jìn)半導(dǎo)體器件的精密電氣測(cè)量及測(cè)試中獲得精準(zhǔn)可靠的測(cè)試數(shù)據(jù)。
售后服務(wù)
2年質(zhì)量保修期
除探針耗材外，展芯科技銷售的產(chǎn)品質(zhì)量保證期為貨物簽收之日起2年，在此期間若合同標(biāo)的物出現(xiàn)質(zhì)量問題，均由展芯負(fù)責(zé)維修或替換，但以下情況除外：1. 自然原因?qū)е碌漠a(chǎn)品質(zhì)量衰退、精度下降；2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞；3. 用戶擅自進(jìn)行的拆解、改裝、功能附加或減除導(dǎo)致的損壞；4. 用戶自行或經(jīng)第三方維修導(dǎo)致的損壞。
免費(fèi)終身維護(hù)
除探針耗材外，展芯科技銷售的產(chǎn)品均可享受免費(fèi)終身維護(hù)服務(wù)。
DSR-ELT-UAZOGLAB佐格 低溫記錄儀
掃描X射線微探針（XPS/ESCA)
超快物流原裝進(jìn)口德國Murrelektronik開爾文探針系統(tǒng)
SP-E-17探針溫度計(jì),探針溫度表,表盤式探針溫度計(jì),數(shù)字式探針溫度計(jì),電子探針溫度計(jì),探桿溫度計(jì),燒烤探針溫
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15000全防水探針溫度計(jì)
| 15000全防水探針溫度計(jì)的詳細(xì)介紹 | |||||||||||||||||||||
| 快速檢測(cè)探針溫度計(jì)是主廚、食品安全檢查員和不定時(shí)查核產(chǎn) 品溫度的生產(chǎn)線經(jīng)理的選擇。一旦當(dāng)溫度穩(wěn)定在± 0.3 ° F(.2 ° C)，它便會(huì)自動(dòng)發(fā)出聲響并且鎖定最終溫度以操作正 確，排除操作員錯(cuò)誤記錄的情況。 快速檢測(cè)探針溫度計(jì)由一種獨(dú)特的橡膠覆蓋，有防摔、防水的 功能。它可以無誤的讀取每一時(shí)刻的溫度，是專門為商業(yè)食品 加工或食物服務(wù)設(shè)備所做的設(shè)計(jì)。
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FCR-7xx200-2-1,5/2,5x100帶小型探針的反射式探頭
FCR-7xx200-2-1,5/2,5x100是一種帶小型探針的反射探頭，用于從漫反射或鏡面反射材料上獲取光譜信息。
這種探頭已經(jīng)用于許多醫(yī)療領(lǐng)域。 照射光源的光通過一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)SMA905接頭耦合進(jìn)由6根光纖組成的光纖束中，這些光纖直接連接到探頭末端。
樣品表面的反射光進(jìn)入第7根光纖。這根光纖把光譜數(shù)據(jù)通過SMA905接頭傳輸?shù)焦庾V儀或光譜分析儀。
專門用于1.5mm直徑反射探頭的特制角度光纖支架（AFH-15）非常有用，它使反射探頭能夠以15o, 30o, 45o, 60o, 75o 和 90o進(jìn)行反射測(cè)量，更詳細(xì)的信息請(qǐng)見本章末尾。
FT-06A寧波盤羊四探針測(cè)試臺(tái)
1.精密平臺(tái)尺寸：長375*寬245*高25mm2.平臺(tái)總高度：340mm3.測(cè)試高度可調(diào)范圍：10-265mm4.探頭移動(dòng)行程：60mm
5.測(cè)試探頭選配：探頭類型：方型和直銷型；探針間距：1mm；2 mm；3 mm；
本機(jī)還可以配合各類環(huán)境溫度試驗(yàn)箱體使用，通過不同的測(cè)量治具滿足不同環(huán)境溫度下測(cè)量方阻和電阻率的需求.
二、廣泛用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試
硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等
IMP離子蝕刻探針－終點(diǎn)檢測(cè)儀
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